特許
J-GLOBAL ID：200903023850628179
光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242834
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106022
出願日： 1994年10月06日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 コア層と上下クラッド層の界面に気泡等を生じさせることなく、Geのように拡散係数の大きいドーパントをクラッド層へ拡散することを抑制する光導波路の製造方法を提供する。【構成】 ガラス化した下部クラッド層12上に少なくとも一層火炎堆積法で石英ガラスの下部クラッド層前駆体12′を形成しその上に火炎堆積法で石英ガラスのコア層前駆体13′を形成し更にその上に少なくとも一層火炎堆積法で石英ガラスの上部クラッド層前駆体14′を形成して、下部クラッド層前駆体12′コア層前駆体13′及び上部クラッド層前駆体14′を一括して加熱処理を施してガラス化する。【効果】 コア層、クラッド層の界面のガラス化後の気泡等による不整合がなくなり、界面の不整合に起因するロス増の発生を防止できる。
請求項（抜粋）：
基板の上に火炎堆積法で石英ガラスの下部クラッド層前駆体を形成する工程、前記下部クラッド層前駆体を加熱処理を施してガラス化する工程、前記ガラス化した下部クラッド層上に少なくとも一層火炎堆積法で石英ガラスの下部クラッド層前駆体を形成しその上に火炎堆積法で石英ガラスのコア層前駆体を形成し更にその上に少なくとも一層火炎堆積法で石英ガラスの上部クラッド層前駆体を形成する工程、前記少なくとも一層の下部クラッド層前駆体、前記コア層前駆体及び前記少なくとも一層の上部クラッド層前駆体を加熱処理を施してガラス化する工程、前記ガラス化した少なくとも上部クラッド層及びコア層にホトリソグラフィとエッチング処理を施して所定パターンの導波路を形成する工程、前記導波路を埋め込むように火炎堆積法で石英ガラスの上部クラッド層前駆体を形成するとともに、前記上部クラッド層前駆体に加熱処理を施してガラス化する工程を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
IPC (2件)：
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