特許

J-GLOBAL ID：200903023853152337

平行平板形ドライエッチング装置

発明者： 林 和行 ,  辰巳 良昭 ,  宮下 欣也
出願人/特許権者： 株式会社創造科学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-163402
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335635
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】平行平板形ドライエッチング装置の上部電極部構造の改良によりエッチング特性の向上をはかる。【構成】平行平板形ドライエッチング装置において、上部電極1の板面に複数のガス噴出孔3とガス噴出孔をつなぐ複数の溝10、また、補強板2の板面に複数のガス噴出孔3’とガス噴出孔をつなぐ複数の溝10’を設け、さらに、この上部電極1と補強板2をそれぞれの溝が交差するように対向させ、接着剤またはろう付けにより接合する。さらに、冷却水路5とガス噴出孔7を設けた冷却ジャケット4の底面に補強板2の反対面を固定する。

請求項（抜粋）：

平行平板形ドライエッチング装置において、(イ)単結晶シリコンからなる円板体の板面に複数のガス噴出孔を設け、かつ、片側板面上にこれらガス噴出孔の隣り合った開口部同士をつなぐ複数の溝を設けたものを上部電極とする。(ロ)アルミニウムからなる円板体の板面に、上部電極と同じパターンの複数のガス噴出孔を設け、かつ、片側板面上には、これらガス噴出孔の隣り合った開口部同士をつなぐ複数の溝を設け、さらに、冷却ジャケットに取り付けるためのボルト穴を設けたものを補強板とする。(ハ)上部電極と補強板の溝を設けた面同士を対向させ、それぞれの溝が交差するように接着剤またはろう付けにより接合する。(ニ)ボルト締めにより補強板を冷却ジャケットに固定する。以上のように構成されたことを特徴とする平行平板形ドライエッチング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00