特許
J-GLOBAL ID：200903023854777969
ウェハ認識装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229545
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077100
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 ウェハに記入された文字列、たとえばウェハ番号を光学的に読み取って認識するウェハ認識装置に関し、特に読み取って認識したウェハ番号の中に重複するものがあるか否かの確認作業を簡単にするウェハ認識装置の提供を目的とする。【構成】 第1のウェハ21-1に記入された文字列A-1 、第2のウェハ21-2に記入された文字列A-2,・・・, 第Nのウェハ21-Nに記入された文字列A-N を撮像し、文字列 A-1〜A-N に1対1で対応する複数の画像信号 G-1〜G-N を出力する撮像手段11と、画像信号 G-1〜G-N に基づいて文字列 A-1〜A-N をそれぞれ画像認識し、文字列 A-1〜A-N の画像を1対1で対応した文字信号 L-1〜L-N で出力する画像認識手段12と、文字信号 L-1〜L-N を入力し、文字信号 L-1〜L-N の中に重複する文字信号が含まれるか否かを識別する識別手段13と、識別手段13により制御されて文字信号 L-1〜L-N に1対1で対応する文字列 A'-1 〜A'-Nを表示画面14a 上に表示するとともに、重複する文字列には識別符号10を付して表示する表示手段14とを含ませて構成する。
請求項（抜粋）：
第1のウェハ(21-1)に記入された文字列(A-1) 、第2のウェハ(21-2)に記入された文字列(A-2),・・・, 第Nのウェハ(21-N)に記入された文字列(A-N) を順次撮像し、前記文字列(A-1〜A-N)に1対1で対応する複数の画像信号(G-1〜G-N)を出力する撮像手段(11)と、前記画像信号(G-1〜G-N)に基づいて前記文字列(A-1〜A-N)をそれぞれ画像認識し、文字列(A-1〜A-N)の画像を1対1で対応した文字信号(L-1〜L-N)で出力する画像認識手段(12)と、前記文字信号(L-1〜L-N)を入力し、文字信号(L-1〜L-N)の中に重複する文字信号が含まれるか否かを識別する識別手段(13)と、前記識別手段(13)により制御されて前記文字信号(L-1〜L-N)に1対1で対応する文字列(A'-1 〜A'-N) を表示画面(14a) 上に表示するとともに、重複する文字列には識別符号(10)を付して表示する表示手段(14)とを含んでなることを特徴とするウェハ認識装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G06F 15/46
, G06F 15/62 400
