特許
J-GLOBAL ID：200903023857524719

基板吸着プレート

発明者：
甘田 晶

甘田 晶 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295376
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118913
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】基板の平面性を高精度に維持するとともに剥離帯電の問題を解消する。【解決手段】基板3を真空吸着により固定する基板吸着プレート1において、基板吸着プレート1の表面に多数の凹部1bまたは凸部を形成し、基板吸着プレートの平面度を維持しながら基板との接触面積を減少させるようにした。
請求項（抜粋）：
基板を真空吸着により固定する基板吸着プレートにおいて、基板吸着プレートの表面に多数の凹部を形成し、基板吸着プレートの平面度を維持しながら基板との接触面積を減少させるようにしたことを特徴とする基板吸着プレート。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B25J 15/06
FI (2件)：
H01L 21/68 P ,  B25J 15/06 K
Fターム (31件)：
3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT00 ,  3C007FT01 ,  3C007FT11 ,  3C007FU00 ,  3C007NS09 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB00 ,  3F061CB01 ,  3F061CB05 ,  3F061CC00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA04 ,  5F031FA12 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20 ,  5F031PA21
引用特許：
審査官引用 (4件)
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