特許

J-GLOBAL ID：200903023857993263

Vノッチウェハ位置決め装置

発明者： 大川 隆志 ,  飯塚 繁晴
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266695
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089904
出願日： 1996年09月17日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 レーザ表面検査装置の回転ステージの回転中心とVノッチウェハの中心とが合致するように正確に位置決めできるようにする。【解決手段】Vノッチウェハ位置決め装置は、Vノッチを有するウェハ4の中心と回転ステージの回転中心とが合致するように少なくとも3つの位置決めピン61〜63を用いて位置決めを行う。偏心検出手段は、回転ステージの回転に伴って回転するウェハの外周縁の形状を光学的に検出することによって、ウェハの中心が回転中心に対してどのくらい偏心しているのかその偏心量を検出すると共にVノッチが回転ステージの回転位置のどこに位置するのかを併せて検出する。偏心検出手段は、回転ステージ上に配置されたウェハの偏心量に基づいて少なくとも3つの位置決めピンによる精密位置決めを行うべきか否かの判定を行う。

請求項（抜粋）：

Vノッチを有するウェハの中心と回転ステージの回転中心とが合致するように少なくとも3つの位置決めピンを用いて位置決めするVノッチウェハ位置決め装置において、前記回転ステージの回転に伴って回転する前記ウェハの外周縁の形状を光学的に検出することによって、前記ウェハの中心が前記回転中心に対してどのくらい偏心しているのかその偏心量を検出すると共に前記Vノッチが前記回転ステージの回転位置のどこに位置するのかを併せて検出する偏心検出手段と、この偏心検出手段によって検出された前記Vノッチの位置に基づいて前記位置決めピンの1つを前記Vノッチの切欠き部分に嵌め込ませてから前記3つの位置決めピンを用いて位置決めする位置決め手段とを具えたことを特徴とするVノッチウェハ位置決め装置。

IPC (7件)：

G01B 5/00 ,  G01B 5/28 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/66

FI (8件)：

G01B 5/00 L ,  G01B 5/00 F ,  G01B 5/28 ,  G01B 11/00 D ,  G01B 21/00 F ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/66 J