特許

J-GLOBAL ID：200903023861500344

ガラス基板分断方法

発明者： 刈谷 孝
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133723
公開番号（公開出願番号）：特開平9-315833
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】製造コストの低減【解決手段】順次下記(1)〜(4)からなるガラス基板分断方法。(1)ステージ17上にスペーサ19を介してガラス基板20を配する。その際にスペーサ19のラインにそってガラス基板20にスクライブライン22を設定する。(2)ステージ17内に設けられた管18を通して空間領域21に対して真空引きをおこなって真空吸着させ、ガラス基板20を固定する。 (3)カッター装置23を走査して、カッター24をスクライブライン22の直上に配し、さらにエアーシリンダー26でカッター24を押圧しながら、スクライブライン22にそって切り込みを入れる。 (4)上記真空引きの真空度を60cmHg以上にまで高めることによってガラス基板20を複数に分断する。

請求項（抜粋）：

ステージ上にライン状のスペーサを介して単一のガラス基板もしくは貼り合わてなる一対のガラス基板を配して、ステージ、スペーサおよびガラス基板により囲まれる空間領域を成すとともに、スペーサのラインにそってガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージ内に設けられた管を通して真空引きして、ステージ上にガラス基板を吸着させ、その後にカッターでガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に上記真空引きの真空度を高めることによってガラス基板を複数に分断することを特徴とするガラス基板分断方法。

IPC (2件)：

C03B 33/033 ,  C03B 33/02

FI (2件)：

C03B 33/033 ,  C03B 33/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-261238
  
• スクライブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-283353   出願人：富士ゼロックス株式会社