特許
J-GLOBAL ID：200903023861782536
間接型温度調節器による温度制御方法および間接型温度調節装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356289
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188462
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 熱伝導部を介して加熱または冷却する対象物の温度を、迅速に目標温度に制御できるようにする。【構成】 温度センサ18は、冷却プレート14の温度を検出して制御切換部21の偏差演算部32に入力する。搬入検知部22は、偏差演算部32が求めた偏差が所定値以上になると、冷却プレート14上に半導体ウエハ16が搬入されたと判断し、切換スイッチ部24を急冷用制御定数メモリ27側にし、急冷用制御定数メモリ27を制御演算部30に接続する。制御演算部30は、駆動回路19に制御信号を送り、熱冷源12を全負荷運転して冷却プレート14を急冷する。そして、偏差演算部32が求めた偏差が零になると、搬入検知部22は切換スイッチ部24を安定用制御定数メモリ28側にし、制御演算部30に冷却プレート14を制御目標温度に維持する安定制御を行わせる。
請求項（抜粋）：
熱冷源の出力した温熱または冷熱を、熱伝導部を介して対象物に与え、この対象物を所定の温度に加熱または冷却する間接型温度調節器による温度制御方法において、前記熱伝導部に対象物が搬入されたときに、前記熱冷源に予め定めた温熱または冷熱を出力させるとともに、前記熱伝導部が予め定めた温度になったときに、熱伝導部の温度と基準温度との偏差に応じた温熱または冷熱を前記熱冷源に出力させることを特徴とする間接型温度調節器による温度制御方法。
IPC (4件)：
H01L 35/28
, F25D 31/00
, H05B 3/00 310
, H01L 21/22
