特許
J-GLOBAL ID：200903023862494011
モノシラン分解用流動床反応器
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176480
公開番号（公開出願番号）：特開平8-040717
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】【構成】 上開きの錐体を形成する壁を有し、そしてこの壁が鉛直線をなす角度が1.3〜3.9 ゚の範囲にあるモノシラン分解用流動床反応器。【効果】 シリコン粒子の凝結を抑えかつ高いシラン変換率を達成し得る。
請求項（抜粋）：
上開きの錐体を形成する壁を有し、そしてこの壁が鉛直線となす角度が1.3〜3.9 ゚の範囲にあることを特徴とするモノシラン分解用流動床反応器。
IPC (2件)：
前のページに戻る
