特許
J-GLOBAL ID:200903023866468902

全反射減衰を利用したセンサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-293904
公開番号(公開出願番号):特開2003-098075
出願日: 2001年09月26日
公開日(公表日): 2003年04月03日
要約:
【要約】【課題】 表面プラズモン共鳴等による全反射減衰を利用したセンサーにおいて、S/Nを悪化させることなく、測定チップに入射する光ビームの総光量を低減して、試料液の温度上昇を抑制し、全反射減衰の状態の測定精度を向上する。【解決手段】 試料液供給機構70により試料液15が測定チップ10に滴下供給される。光チョッパー80により所定周波数で変調された光ビーム30を測定チップ10の内底面に形成された金属膜と、その下の誘電体ブロックとの界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させ、界面において全反射した光ビーム30の強度を光検出器40で検出し、出力信号Sを求める。ロックインアンプ84により、出力信号Sのうち所定周波数の信号のみを増幅した出力信号S’を求めて、試料液15の特性を求める。ロックインアンプ84により目的信号が主に増幅されるため、変調により光ビーム30の総光量が低下しても、S/Nが悪化することはない。
請求項(抜粋):
光ビームを発生させる光源と、前記光ビームに対して透明な誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の入射角で入射させる光学系と、前記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出結果に基づいて、全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えた全反射減衰を利用したセンサーにおいて、前記界面に入射する前の光ビームを所定周波数で変調する変調手段と、前記光検出手段の検出結果のうち前記所定周波数の信号のみを増幅する増幅手段をさらに備え、前記測定手段が、前記増幅手段により増幅された検出結果に基づいて、前記反射減衰の状態を測定するものであることを特徴とする全反射減衰を利用したセンサー。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01N 35/02
FI (2件):
G01N 21/27 C ,  G01N 35/02 A
Fターム (25件):
2G058CC08 ,  2G058CD03 ,  2G058CF02 ,  2G058CF12 ,  2G058EA02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM11 ,  2G059PP04

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