特許
J-GLOBAL ID：200903023867737591
導通検査機における被検査基板の支持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土橋 秀夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039427
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248349
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 水平状態で搬送された被検査基板の四辺を該搬送姿勢のままで検査位置において支持し、表裏両面を同時に検査する導通検査基板における被検査基板の支持装置を提供するもので、検査時における基板の撓みを原因とする検査不良を防ぎ、検査能率も向上する。【構成】 水平搬送路D途中の上方及び下方に複数の導通検査用尖頭状検査杆を配設した検査位置に、水平姿勢で搬送された被検査基板Pの前記搬送路D上に出現、退避して該被検査基板Pの搬送方向前方及び後方各縁辺P1,P2を支持する手段B1,B2を備えた前後クランプ機構Bと、左方及び右方各縁辺P3,P4を支持する手段C1,C2を備えた左右クランプ機構Cからなる導通検査機における被検査基板の支持装置A。
請求項（抜粋）：
水平搬送路途中の上方及び下方に複数の導通検査用尖頭状検査杆を配設した検査位置に、水平姿勢で搬送された被検査基板の前記搬送路上に出現、退避して該被検査基板の搬送方向前方及び後方各縁辺を支持する手段を備えた前後クランプ機構と、左方及び右方各縁辺を支持する手段を備えた左右クランプ機構からなる導通検査機における被検査基板の支持装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02
, G01R 1/04
, G01R 31/28
