特許
J-GLOBAL ID：200903023870793540
圧電共振子測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302392
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142456
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】電極形成以前の工程での圧電共振子の選別検査が可能とする圧電共振子測定装置を提供する。【解決手段】電極薄膜が形成されていない段階の被試験素子における共振周波数の測定装置において、一方のDUT圧電面を下部電極上に載せ、他方のDUT圧電面と上部電極を非接触でDUTの伝送特性を測定し、これからDUTの共振周波数を特定する圧電共振子測定装置。
請求項（抜粋）：
電極薄膜を形成する前段階の圧電共振子(DUT)における共振周波数の測定装置において、一方のDUT圧電面を下部電極上に載せ、他方のDUT圧電面と上部電極を非接触で当該DUTの伝送特性を測定し、これから該DUTの共振周波数を特定することを特徴とする圧電共振子測定装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 29/22 A
, G01R 29/22 E
, G01N 22/00 S
