気体排出物を識別する方法とシステム、およびそのようなシステムを備えた設備

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214092
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)と、イオン化された気体を分析する装置(4、5)とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ(3)内の気体を分析するガス分析システムを提供すること。【解決手段】本発明によれば、分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)は、エンクロージャ(3)内に含まれれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器(6)に結合された専用プラズマ源(2)を備え、イオン化された気体を分析する装置(4、5)は、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計(5)に接続された放射センサ(4)を備える。

請求項（抜粋）：

分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)と、イオン化された気体を分析する装置(4、5)とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ(3)内の気体を分析するガス分析システムであって、分析すべき気体をイオン化する前記装置(2、6)が、エンクロージャ(3)内に含まれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器(6)に結合された専用プラズマ源(2)を備え、イオン化された気体を分析する前記装置(4、5)が、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計(5)に接続された放射センサ(4)を備えることを特徴とするガス分析システム。

IPC (3件)：

G01N 21/68 , C23C 16/52 , G01N 21/73

FI (3件)：

G01N 21/68 , C23C 16/52 , G01N 21/73

引用特許：

審査官引用 (7件)

マイクロ波プラズマ発生トーチ管
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-157745 出願人：株式会社日立製作所
特開平1-227048
雰囲気汚染評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-136352 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

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