特許
J-GLOBAL ID：200903023883962864
残留応力の測定方法及び該方法に使用する測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-001073
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026945
出願日： 1991年01月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 被測定物の弾性定数やモードグリュナイゼン定数等の物理定数が未知であり、しかも膜厚が20nm以下程度である場合でも容易に残留応力を測定する。【構成】 被測定物への応力値と結晶構造の格子振動によるラマンシフト量の変化との関係から予め検量線を作成しておき、この後、被測定物の格子振動によるラマンシフト量の標準スペクトルとのシフト量変化を測定し、該測定値と前記検量線とを比較することにより被測定物の残留応力を求める。
請求項（抜粋）：
基板上に被測定物を生成させ、該基板に応力を加えることにより加わる前記被測定物への応力値と、結晶構造の格子振動によるラマンシフト量の変化との関係から検量線を作成しておき、この後、被測定物の前記格子振動によるラマンシフト量の標準スペクトルとのシフト量変化を測定し、該測定値と前記検量線とを比較することにより、前記被測定物の残留応力を求めることを特徴とする残留応力の測定方法。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01L 1/25
, G01N 21/65
