特許
J-GLOBAL ID:200903023886013545

熱電変換特性の測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-089639
公開番号(公開出願番号):特開平6-300719
出願日: 1993年04月16日
公開日(公表日): 1994年10月28日
要約:
【要約】【目的】試料片の熱電変換特性を正確かつ簡便に測定するための新規な測定方法及びその測定に使用される装置を提供する【構成】真空を形成し得るチャンバー11内に、絶縁体層17を表面に有する金属体2よりなる加熱支持面Aと絶縁体3よりなる非加熱支持面Bとによって試料片の支持面が構成された試料台5、複数対の熱電対6、7および電子束発生装置4を有し、該熱電対の一対は、上記加熱支持面上に、他の熱電対は非加熱支持面上にそれぞれ上下動可能に配置され、電子束発生装置4は、加熱支持面を構成する金属体2に電子束を照射し得る位置に配置され、且つ上記加熱支持面上の熱電対と他の熱電対との間には電圧計12が接続され、各熱電対6、7はそれぞれ電圧-温度変換器13、14に接続され、前記支持台上に置かれた試料片に接触させた上記熱電対間の温度差と各点における電位差を測定し得るように構成された熱電変換特性の測定装置を使用して、試料片の高温部側と低温部側の2点間の電位差と温度差とを測定する。
請求項(抜粋):
試料片の一部に絶縁体層を介して金属体を当接し、該金属体に真空下で電子束を照射して加熱し、上記試料片の加熱部位及び該加熱部位より離れた部位にそれぞれ熱電対端子を接触させ、該熱電対端子を接触させた2点間に生じる温度差及び電位差を測定することを特徴とする熱電変換特性の測定方法。
IPC (2件):
G01N 25/00 ,  H01L 35/28

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