特許
J-GLOBAL ID：200903023890216418
隔壁形成ガラス基板とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159265
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007526
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】ガラス基板上に隔壁を形成するためのコストを低減し、隔壁幅の微細化を可能とする方法を提供する。【構成】ガラス基板1表面に、厚さ2μm以下の薄板状の低融点ガラス微粉を主成分とし感光性樹脂を含む塗布液を塗り、フォトマスクを通して部分的に感光させ現像し、焼成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に形成された隔壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体からなることを特徴とする隔壁形成ガラス基板。
IPC (4件)：
H01J 17/16
, H01J 9/02
, H01J 9/24
, H01J 11/02
H01J 17/16
, H01J 9/02 F
, H01J 9/24 B
, H01J 11/02 B
