特許

J-GLOBAL ID：200903023891405290

エッチングプロセスにおける混酸液の定量分析方法、定量分析装置およびエッチング制御方法ならびに上記の混酸液の製造方法

発明者： 沢田 吏郎 ,  草野 弘道 ,  谷地 文枝
出願人/特許権者： 日本化成株式会社 ,  三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222888
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194120
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】簡易な方法で且つ短時間で各酸成分の濃度を求めることが出来るエッチングプロセスにおける混酸液の定量分析方法、定量分析装置およびそれらを利用することが出来るエッチング制御方法ならびに上記の混酸液の製造方法を提供する。【解決手段】上記の分析方法は、強酸成分として硝酸を含み、さらに、フッ酸および/またはその他の強酸(但し、硝酸およびフッ酸を除く)の1種とヘキサフロロ珪酸とを含むエッチングプロセスにおける混酸液の分析方法であって、非水中和滴定法によりフッ酸および/またはその他の酸成分の濃度を定量分析し、別途に紫外部吸光光度法により硝酸の濃度のみを定量分析し、硝酸、フッ酸および/または上記のその他の強酸成分の各濃度を区分して求める。

請求項（抜粋）：

強酸成分として硝酸を含み、さらに、フッ酸および/またはその他の強酸(但し、硝酸およびフッ酸を除く)の1種とヘキサフロロ珪酸とを含むエッチングプロセスにおける混酸液の分析方法であって、非水中和滴定法によりフッ酸および/またはその他の酸成分の濃度を定量分析し、別途に紫外部吸光光度法により硝酸の濃度のみを定量分析し、次に示す(1)〜(3)の方法により、硝酸、フッ酸および/または上記のその他の強酸成分の各濃度を区分して求めることを特徴とするエッチングプロセスにおける混酸液の定量分析方法。(1)混酸液が強酸成分として硝酸およびフッ酸のみを含む場合、上記の非水中和滴定法により硝酸の濃度とヘキサフロロ珪酸の濃度との合計濃度、および、フッ酸の濃度を区分して得、当該合計濃度から上記の紫外部吸光光度法による硝酸の濃度を差し引いてヘキサフロロ珪酸の濃度を得ることにより、硝酸、フッ酸およびヘキサフロロ珪酸の各濃度を区分して求める。(2)混酸液が強酸成分として硝酸、フッ酸およびその他の強酸(但し、硝酸およびフッ酸を除く)の1種を含み、当該その他の強酸が硫酸またはリン酸の場合、上記の非水中和滴定法により硝酸の濃度とヘキサフロロ珪酸の濃度と硫酸またはリン酸の濃度との合計濃度およびフッ酸の濃度を区分して得、更にドライアップ法定量分析により上記の硫酸またはリン酸の濃度を得、当該合計濃度から上記の紫外部吸光光度法による硝酸の濃度およびドライアップ法定量分析による硫酸またはリン酸の濃度を差し引いてヘキサフロロ珪酸の濃度を得ることにより、硝酸、フッ酸、硫酸またはリン酸、および、ヘキサフロロ珪酸の濃度を区分して求める。(3)混酸液が強酸成分として硝酸およびその他の強酸(但し、硝酸およびフッ酸を除く)の1種のみを含む場合、上記の非水中和滴定法により得られる硝酸の濃度と上記のその他の強酸との合計濃度から上記の紫外部吸光光度法による硝酸の濃度を差し引いて上記のその他の強酸の濃度を得ることにより、硝酸および上記のその他の強酸の濃度を区分して求める。

IPC (5件)：

G01N 31/12 ,  G01N 21/33 ,  G01N 27/26 341 ,  G01N 33/00 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

G01N 31/12 Z ,  G01N 21/33 ,  G01N 27/26 341 A ,  G01N 33/00 B ,  H01L 21/306 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 溶液の分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-013064   出願人：新日本製鐵株式会社, ニッテツ電子株式会社