特許

J-GLOBAL ID：200903023892185463

駆動装置

発明者： 松本 豪
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136270
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337050
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 振動アクチュエータと相対運動部材の相対運動の方向によらず、相対運動の速度を正確に検出し、動作を適正に制御することを可能にする。【解決手段】 選択回路47は、コントローラ46から相対運動部材が1の方向に駆動される旨の情報を受けると、進行する方向の側にある圧電体13p’を選択し、その検出信号をコントローラ46に入力し、相対運動部材の速度が所定値となるように超音波モータの動作を制御する。

請求項（抜粋）：

振動子を相対運動部材に接触させることにより前記相対運動部材と相対運動を行う振動アクチュエータであって、少なくとも2つの振動検出器を前記振動子に備えた振動アクチュエータの駆動装置において、前記振動検出器の出力を処理する処理部と、前記振動検出器のいずれか1つ又は2つ以上を選択する選択部とを有し、前記処理部は、前記選択部により選択された前記振動検出器の出力情報を処理することを特徴とする駆動装置。