特許

J-GLOBAL ID：200903023895084625

マーク検出方法、マーク検出装置、露光方法、露光装置、および、マーク検出プログラムを記録した記録媒体

発明者： 杉本 宗毅 ,  前田 浩二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016200
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214287
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】初期の計測処理範囲内においてマークの検出に失敗した場合でも、自動的なマークの再検出を可能とする。【解決手段】 所定の計測処理範囲内で物体上のマークの計測を行うマーク検出系1と、この計測処理範囲内でマークの検出に失敗したとき、マーク検出系1の検出結果に基づいて、マークの一部が計測処理範囲の境界付近に存在するか否かを判断し、存在する場合にはマーク全体がマーク検出系1によって検出されるように計測処理範囲を変更する制御系2とを備える。

請求項（抜粋）：

所定の計測処理範囲内でマーク検出系を用いて物体上のマークを検出するマーク検出方法において、前記計測処理範囲内で前記マークの検出に失敗したとき、前記マーク検出系の検出結果に基づいて、前記マークの一部が前記計測処理範囲の境界付近に存在するか否かを判断し、存在する場合には前記マーク全体が前記マーク検出系によって検出されるように前記計測処理範囲を変更することを特徴とするマーク検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 525 W ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 E