特許

J-GLOBAL ID：200903023895303068

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

発明者： 大野 健一 ,  神田 虎彦
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-296259
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094655
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子は、焼成を行う時点である程度の厚みを持っていないと焼成後に反りが発生する。圧電素子の全体の厚みを大きくして焼成することで、反りの発生を抑制できるが、圧電素子は厚くなるにつれて変形効率が低下するため、焼成後の圧電素子をある程度まで薄くすることが必要であり、ラッピングやポリシング等から選択される機械的加工によって良好な厚み精度を得ようとした場合には、非常にコストが掛かってしまう課題がある。【解決手段】 圧電材料61,62を一体焼成した構造体である積層圧電素子60を、内部に設けられた金属薄膜63aをストッパーとしてサンドブラスト加工することにより、低コストかつ良好な厚み精度で薄膜化する。

請求項（抜粋）：

インクを吐出するノズルとインクに圧力を加えるためのインク圧力室とを含むインク流路基板と、前記インク圧力室の一面を形成する振動板と、前記振動板を駆動する圧電素子からなる圧力発生機構とによって構成されるインクジェット記録ヘッドであって、前記圧力発生機構は、少なくとも2つ以上の圧電体層の層間に金属膜を介装した状態で一体焼成した構造体から不要部分を除去して薄膜化したものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z

Fターム (11件)：

2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14