特許

J-GLOBAL ID：200903023897916172

保全情報管理サーバ、これを用いた保全情報管理システム及び保全情報管理方法

発明者： 平山 公一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302498
公開番号（公開出願番号）：特開2003-108219
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置に関する保全情報を有効に活用することが難しく、全ての工場にわたって保全情報を管理して有効に活用することは極めて困難であるという課題があった。【解決手段】 半導体製造装置の装置コード毎に半導体製造装置の装置名称及び装置型名に関する装置情報を格納し、工場/製造ライン毎に設置された半導体製造装置について装置コードに対応付けて設備情報が登録し、装置コードに対応して不具合内容を示す不具合情報とその不具合対策情報とを格納し、工場/製造ラインに設置された半導体製造装置に関する不具合情報と対策情報が不具合対策情報として与えられると、保全情報管理サーバ11は、不具合半導体製造装置の装置コードに基づいて不具合対策情報を登録すると共に、同一の装置コードを有する半導体製造装置が設置された工場/製造ラインの全てに不具合対策情報を保全情報として配信する。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の種類毎に該半導体製造装置を特定する装置コードが格納されるとともに、該装置コード毎に半導体製造装置の装置名称及び装置型名に関する装置情報を格納する製造装置データベースと、工場/製造ライン毎に設置された半導体製造装置について前記装置コードに対応付けて設備情報が登録される設備設置データベースと、少なくとも前記装置コードに対応して当該半導体製造装置に発生した不具合内容を示す不具合情報と、該不具合情報に対応する対策内容を示す不具合対策情報とが格納される不具合対策データベースとに接続し、前記工場/製造ラインのうち一つから当該工場/製造ラインに設置された前記半導体製造装置に関する前記不具合情報と、該不具合情報に対応する対策情報が不具合対策情報として与えられると、前記設備設置データベースを検索して当該不具合半導体製造装置の装置コードを取得すると共に、該装置コードに基づいて前記不具合対策情報を前記不具合対策データベースに登録する不具合対策情報登録機能と、前記不具合半導体製造装置の装置コードに基づいて前記設備設置データベースを検索して、当該不具合半導体製造装置と同一の装置コードを有する半導体製造装置が設置された他の工場/製造ラインの全てに前記不具合対策情報を保全情報として配信する不具合対策情報配信機能とを有することを特徴とする保全情報管理サーバ。

IPC (3件)：

G05B 19/418 ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 138

FI (3件)：

G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 138

Fターム (5件)：

3C100AA62 ,  3C100AA65 ,  3C100BB13 ,  3C100BB27 ,  3C100EE06