流体噴射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-281254
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111561
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】フオトマスクの製造工程において、ノズル(スプレイ)から処理液を噴射させ処理を行う現像処理装置、エッチング処理装置であって、ノズル(スプレイ)からの処理液の噴射を停止した後の、処理液の液垂れの発生がない装置を提供する。【解決手段】流体を圧送して供給する第1の配管と、第1の配管からの流体の通過を開閉して制御する第1の制御弁と、第1の制御弁を経て吐出された流体をノズルへ供給する第2の配管とを備えた、ノズルから流体を噴射する流体噴射装置であって、第1の制御弁とノズルとの間の第2の配管を分岐し、第2の制御弁を介して減圧部を連結して設けており、流体の噴射停止時には、第1の制御弁を閉じると同時に、ないし第1の制御弁を閉じた後に、第2の制御弁を開いて、第2の配管を介して減圧部側に流体を吸引して、ノズル内に残った流体を外部に排出するものである。

請求項（抜粋）：

流体を圧送して供給する第1の配管と、第1の配管からの流体の通過を開閉して制御する第1の制御弁と、第1の制御弁を経て吐出された流体をノズルへ供給する第2の配管とを備えた、ノズルから流体を噴射する流体噴射装置であって、第1の制御弁とノズルとの間の第2の配管を分岐し、第2の制御弁を介して減圧部を連結して設けており、流体の噴射停止時には、第1の制御弁を閉じると同時に、ないし第1の制御弁を閉じた後に、第2の制御弁を開いて、第2の配管を介して減圧部側に流体を吸引して、ノズル内に残った流体を外部に排出するものであることを特徴とする流体噴射装置。

IPC (5件)：

G03F 1/08 , B05B 12/00 , C23F 1/08 103 , G03F 7/30 501 , H01L 21/306

FI (5件)：

G03F 1/08 Z , B05B 12/00 Z , C23F 1/08 103 , G03F 7/30 501 , H01L 21/306 R

引用特許：

審査官引用 (7件)

処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-084064 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開昭60-062121
特開昭60-062121

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