特許

J-GLOBAL ID：200903023906069240

欠陥診断方法とその装置

発明者： 太田 昭男 ,  河野 健二 ,  杉山 大吾
出願人/特許権者： トピー工業株式会社
代理人 (1件)： 田渕 経雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269678
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097917
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 磁気密度測定に要する時間を短くすること。【解決手段】 複数の半導体磁気センサ11を集積化した集積化磁束検出装置10を用いてワーク20の磁束密度を検出し、コンピュータ70で等磁線図を作成する欠陥診断方法とその装置。

請求項（抜粋）：

複数の半導体磁気センサを少なくとも1行かつ少なくとも1列に配置した集積化磁束検出装置をワークの表面に沿わせて配置する工程と、前記集積化磁束検出装置を作動させてワークの損傷、劣化に伴う磁区の変化によって生じる自発磁束密度を検出し出力する工程と、前記集積化磁束検出装置の出力に基づいてコンピュータにて等磁気線図を作成する工程と、を有する欠陥診断方法。

IPC (2件)：

G01N 27/82 ,  G01R 33/07

FI (2件)：

G01N 27/82 ,  G01R 33/06 H

Fターム (14件)：

2G017AA07 ,  2G017AD32 ,  2G017AD53 ,  2G017AD61 ,  2G017BA15 ,  2G053AB10 ,  2G053AB11 ,  2G053BB11 ,  2G053BC03 ,  2G053CA05 ,  2G053CB29 ,  2G053DA01 ,  2G053DB02 ,  2G053DB20