特許
J-GLOBAL ID：200903023909600966
状態検出装置及び収納装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240004
公開番号（公開出願番号）：特開平6-064706
出願日： 1992年08月17日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 ウエハキャリアのストッカ内のキャリアの有無や搬送系の可動部の状態などをセンサにより検出してその検出信号を制御部に伝送するにあたり、簡単な構成で、かつ配線量を少なくすること。【構成】 例えばキャリアストッカにおいて、各棚毎にキャリアの有無を検出するセンサS1〜S8とインターフェイスボード2とを設ける。インターフェイスボード2には、パラレル信号路31及びアドレス信号路32と、センサS1〜S8からの検出信号を取り込んでパラレル信号路31に出力するためのバス駆動部4と、アドレス信号路32からのアドレス信号にもとずいて当該インターフェイスボード2のバス駆動部4を駆動するアドレス選択回路5などが設けられ、これらインターフェイスボード2を互に接続してバスラインを形成するように構成する。
請求項（抜粋）：
被検出ユニット毎に、複数の被検出物の状態を夫々検出するためのセンサが設けられ、各センサの検出信号を制御部に取り込む状態検出装置において、各被検出ユニット毎に、パラレル信号路及びアドレス信号路を備えたインターフェイスボードを設け、入力側が前記センサの出力側に、また出力側が前記パラレル信号路に夫々接続され、各センサの検出信号をパラレル信号路に出力するためのバス駆動部と、前記アドレス信号路を介して送られた、被検出ユニットに割り当てられたアドレス信号が入力されたときに当該被検出ユニットに係るインターフェイスボードのバス駆動部を駆動して各センサの検出信号をパラレル信号路に出力させるアドレス選択回路とをインターフェイスボードに設け、各インターフェイスボードのパラレル信号路同士及びアドレス信号路同士を接続して、制御部との間の伝送路であるバスラインを形成することを特徴とする状態検出装置。
IPC (5件)：
B65G 1/00
, B65H 7/14
, G01V 9/04
, H01L 21/52
, H01L 21/68
