特許
J-GLOBAL ID:200903023916352811

インクジェットヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-270484
公開番号(公開出願番号):特開2001-088309
出願日: 1999年09月24日
公開日(公表日): 2001年04月03日
要約:
【要約】【課題】 マニホールド側のダミーチャンネル開口端を閉塞し、噴射チャンネルにインクを供給する導入穴を正確に形成する。【解決手段】 アクチュエータ基板47の後端面47bに噴射チャンネル43およびダミーチャンネル45を覆ってドライフィルムレジスト85を接着する。このドライフィルムレジスト85の上に、マスク87を重ねる。このマスク87には、噴射チャンネル43と対応する位置にクロムなどにてパターニング88がされており、紫外線90を照射すると、その紫外線90が当たった部分のみが硬化する。現像を行なうと未露光部分が除去され、噴射チャンネル43と接続した導入穴53が形成される。
請求項(抜粋):
アクチュエータ部材に、インクを噴射する複数の噴射チャンネルと、その噴射チャンネルの両側に設けられ、インクを噴射しないダミーチャンネルと、前記噴射チャンネルと前記ダミーチャンネルとを隔てる、少なくとも一部が電圧の印加により変形する圧電材料製の隔壁と、該隔壁の前記両チャンネル内の両側面に設けられた電極とを備え、前記アクチュエータ部材の一端の面に、前記複数の噴射チャンネルにインクを供給するマニホールドを接続したインクジェットヘッドの製造方法であって、前記アクチュエータ部材に前記噴射チャンネルとダミーチャンネルを、その一端を該アクチュエータ部材の一端の面に開口させて形成し、前記アクチュエータ部材の一端の面に、前記噴射チャンネルとダミーチャンネルの一端を覆うレジスト材を面状に形成し、該噴射チャンネルの一端に対応する位置のレジスト材を除去することにより導入穴を形成し、前記アクチュエータ部材の該一端の面に前記マニホールドを装着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (11件):
2C057AF24 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG84 ,  2C057AG89 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057AP77 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

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