特許

J-GLOBAL ID：200903023925010117

弾性表面波デバイスとその製造法

発明者： 佐藤 一彦
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338690
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156576
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 同一圧電基板上に送受RFフィルタを備えた複合フィルタを可能とする手段を得る。【解決手段】 ウエハー上にアルミニウム膜を成膜し、所望の複合RFフィルタの大きさのほぼ半分の幅のレジスト膜を該膜幅と等しい間隔あけて順次塗布し、露出しているアルミニウム膜を除去した後、該領域に所定の銅を含有するアルミニウム合金膜を形成し、アルミニウム膜の領域には前記複合RFフィルタの受信用RFフィルタを、アルミニウム合金膜の領域には送信用のRFフィルタを形成する。

請求項（抜粋）：

同一圧電基板上に異なる材料を用いて構成した2つの弾性表面波素子を備えた弾性表面波デバイスであって、一方の弾性表面波素子の電極はアルミニウム膜を用い、他方の弾性表面波素子の電極は銅を含有したアルミニウム合金膜を用いて構成したことを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/72

FI (3件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/72

Fターム (11件)：

5J097AA01 ,  5J097AA13 ,  5J097AA26 ,  5J097BB15 ,  5J097FF03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA07 ,  5J097HA08 ,  5J097HA09 ,  5J097JJ01 ,  5J097KK09