特許

J-GLOBAL ID：200903023929201294

スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法

発明者： 趙 龍 哲 ,  ▲しょう▼ 錫 謨
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (6件)： 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  宇谷 勝幸 ,  藤田 健 ,  都祭 正則 ,  長谷川 俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-346674
公開番号（公開出願番号）：特開2007-183264
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。【解決手段】ビームを照射する光源101と、光源とスキャニングミラー100との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ109と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子115と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部121、125とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

スキャニングミラーの水平回転角及び垂直回転角の変化によってスキャナの駆動特性を測定するスキャナの駆動特性の評価装置において、 ビームを照射する光源と、 前記光源と前記スキャニングミラーとの間に配置され、前記スキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズと、 前記スキャニングミラーで反射されて前記対物レンズを透過した反射ビームを受光して、前記スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子と、 前記位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部と、を備え、 前記スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず、前記反射ビームを、前記光源から照射されて前記対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにすることを特徴とするスキャナの駆動特性の評価装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G02B 27/18 ,  G02B 26/10 ,  G01B 11/26

FI (5件)：

G01M11/00 T ,  G02B27/18 Z ,  G02B26/10 104 ,  G01B11/26 Z ,  G01B11/26 H

Fターム (44件)：

2F065AA19 ,  2F065AA37 ,  2F065AA39 ,  2F065BB16 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065DD12 ,  2F065DD15 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF23 ,  2F065FF43 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ44 ,  2F065SS13 ,  2F065UU02 ,  2G086EE09 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB54 ,  2H045AB73