一体型反射光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284461
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122641
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】基板の両端面に設けた反射面の面間隔を高精度に調整した一体型反射光学系を得ること。【構成】同一の基板の端面に裏面反射を行う複数の反射面を設け、該複数の反射面を介した光束を利用する一体型反射光学系において該複数の反射面のうち少なくとも1つの反射面は該基板の端面に所定の厚さの透過膜を介して反射膜が形成されていること。

請求項（抜粋）：

同一の基板の端面に裏面反射を行う複数の反射面を設け、該複数の反射面を介した光束を利用する一体型反射光学系において該複数の反射面のうち少なくとも1つの反射面は該基板の端面に所定の厚さの透過膜を介して反射膜が形成されていることを特徴とする一体型反射光学系。

IPC (2件)：

G02B 17/06 , G02B 5/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

対物レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-023587 出願人：ソニー株式会社

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