特許
J-GLOBAL ID：200903023935100246
単結晶引上げ機の不活性ガス排気系のクリーニング装置及びそのクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219591
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】排気管内の急激な温度及び圧力の上昇を伴わずに、排気管内に堆積した粉塵の殆ど全てを短時間で容易にかつ安全に除去する。【解決手段】単結晶引上げ機11には排気管12が接続され、この排気管を通して真空ポンプ13が引上げ機に供給された不活性ガスを吸引するように構成される。排気管にはクリーニング用取出し口16cが設けられ、このクリーニング用取出し口にはクリーニング用パイプ18の一端が接続される。クリーニング用パイプの他端にはクリーニング用吸引ポンプ19が接続され、このクリーニング用吸引ポンプが引上げ機内の大気開放状態で排気管内の不活性ガス又は大気を吸引するように構成される。更にクリーニング用取出し口と吸引ポンプの間のクリーニング用パイプにはクリーニング用粉体分離器20が設けられ、吸引ポンプの吸引流量は調整可能に構成される。
請求項（抜粋）：
単結晶引上げ機(11)に接続された排気管(12)と、前記排気管(12)を通して前記引上げ機(11)に供給された不活性ガスを吸引する真空ポンプ(13)とを有する単結晶引上げ機の不活性ガス排気系において、前記引上げ機(11)と前記真空ポンプ(13)との間の排気管(12)に設けられたクリーニング用取出し口(16c)と、前記クリーニング用取出し口(16c)に一端が接続されたクリーニング用パイプ(18)と、前記クリーニング用パイプ(18)の他端に接続され前記引上げ機(11)内が大気に開放された状態で前記排気管(12)内の不活性ガス又は大気を吸引するクリーニング用吸引ポンプ(19)と、前記排気管(12)と前記吸引ポンプ(19)の間のクリーニング用パイプ(18)に設けられたクリーニング用粉体分離器(20)とを備え、前記吸引ポンプ(19)の吸引流量が調整可能に構成されたことを特徴とするクリーニング装置。
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG28
, 4G077PA16
