特許

J-GLOBAL ID：200903023935524372

分光検査

発明者： カランジェロ,ロバート・エム ,  ドルイ,マーク・エイ ,  スティーヴンソン,ウィリアム・エイ ,  グラトコウスキ,ポール・ジェイ
出願人/特許権者： フォスター-ミラー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-530998
公開番号（公開出願番号）：特表2000-505556
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】非接触式の分光検査システムは、分析すべき材料(10)の表面に光線を収束させる伝送光学素子(42)と、材料(10)の表面から反射された光線を集め且つ分光検査分析構造体(54)に伝送すべくその反射した光線を光ファイバ構造体(52)に向ける受け取り光学素子(48)とを有する走査ヘッド構造体を備えている。

請求項（抜粋）：

分析装置と、光線ビームを発生させる光源とを備える、非接触式分析用の分光検査システムにおいて、 走査ヘッド構造体であって、該走査ヘッド構造体から隔てられた分析すべき材料の表面に前記光線ビーム中の光線を向けるべく該走査ヘッド構造体内に設けられた伝送光学素子と、前記材料の表面から反射された光線を集めるべく前記走査ヘッド構造体内に設けられた受け取り光学素子とを備える走査ヘッド構造体と、 前記集められた光線を受け取り且つ該集められた光線を前記分析装置に伝送する光ファイバ構造体とを備える、分光検査システム。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公平3-049065
  
• 特開昭63-263446