特許
J-GLOBAL ID：200903023950485510
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-238438
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082592
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 設備コストを安価に抑えた上で、上手側処理槽から下手側処理槽への基板の移行時に、処理液が完全に乾燥してしまわない状態で必要かつ充分に液切りを行い得るようにする。【解決手段】 上手側処理槽2と下手側処理槽3との間に設けられた仕切壁13と、この仕切壁13に設けられた基板Bを通す開口部13aと、この開口部13aを通して基板Bを略水平姿勢で上記上手側処理槽2から下手側処理槽3に搬送するローラ14とが備えられ、上記開口部13aには、基板Bの搬送方向に直交した方向に延び、かつ、基板Bの処理液の供給された面に気体を吹きつけるエアーナイフ部40が設けられ、このエアーナイフ部40は、上手側処理槽2に向かって開口した上手側気体吹出し口43aと、下手側処理槽に向かって開口した下手側気体吹出し口44aとを有している。
請求項（抜粋）：
基板を搬送する搬送手段と、この搬送手段による基板の搬送方向に沿って配設され、搬送される基板を通過させる開口部を有する仕切壁で仕切られた状態で互いに形成され、搬送中の基板に対してそれぞれ異なる処理液を供給する上手側処理槽および下手側処理槽と、供給された処理液を液切りすべく基板に気体を吹き付ける気体供給手段とを備えた基板処理装置において、上記気体供給手段は、上記仕切壁に沿って少なくとも基板を横断する寸法を有して配設され、その先端が上記開口部に臨み、かつ通過基板の表面に気体を吹き付ける気体吹出し口を有し、この気体吹出し口は、先端での分岐によって、上手側処理槽に向かって開口した上手側気体吹出し口と、下手側処理槽に向かって開口した下手側気体吹出し口とが形成されたものであることを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
H01L 21/02 Z
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/304 341 N
, H01L 21/68 A
