特許
J-GLOBAL ID：200903023952213020
治 具
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089326
公開番号（公開出願番号）：特開平5-262510
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】導電性異物の発生がなく高熱伝導性であり、化合物半導体型太陽電池や液晶表示素子等の薄膜半導体素子をガラス、プラスチック等の基板に形成させたデバイスを製造する際の歩留りの向上が図れる治具の提供。【構成】薄膜半導体素子を基板に形成する際に使用されるものであって、ガラス状炭素で被覆された黒鉛からなることを特徴とする治具。
請求項（抜粋）：
薄膜半導体素子を基板に形成する際に使用されるものであって、ガラス状炭素で被覆された黒鉛からなることを特徴とする治具。
IPC (3件)：
C01B 31/04 101
, C04B 41/87
, H01L 21/68
