特許
J-GLOBAL ID：200903023959144538
自己診断用駆動部を有する半導体加速度センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉田 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134024
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322927
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】半導体加速度センサーにおいて、あたかも加速度がかかったかのようにセンサーを動作させて、センサーが正常に機能しているか否かを予め確認できる自己診断駆動構造を提供する。【構成】起歪部4の少なくとも一面に薄膜圧電材料6を装着し、この薄膜圧電材料6への電圧印加により重り部2を圧電駆動可能とした。【効果】半導体加速度センサーに実際に加速度を与えなくても、薄膜圧電材料6に駆動信号を与えることにより、擬似的に重り部2に加速度が加わった状態とすることができ、これにより、センサーが正常に機能しているか否かを自己診断することができる。
請求項（抜粋）：
加速度を受ける重り部と、この重り部を支持する薄肉化した起歪部とを半導体基板を加工して一体的に形成し、前記重り部の動きにより前記起歪部に起きる歪みを検出するためのピエゾ抵抗を前記起歪部に形成した半導体加速度センサーにおいて、前記重り部を圧電効果により駆動する圧電駆動手段を設けたことを特徴とする自己診断用駆動部を有する半導体加速度センサー。
IPC (3件)：
G01P 21/00
, G01P 15/12
, H01L 29/84
