特許

J-GLOBAL ID：200903023961195760

ステージ装置

発明者： 原 英明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280251
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 静圧気体軸受けを使用したステージ装置において、軸受け面の周囲に不規則に流れ出す排気の量を抑え、ステージ上の汚染、及び環境温度の変化を防ぐ。【解決手段】 所定の案内面に沿って駆動されるYガイドバー搬送体101の気体吹き出し孔123A,123Bの周囲の軸受け面122A,122Bを囲むように排気溝121を設け、排気溝121の外側に軸受け面122A,122Bと等しい高さの隔壁118A,118Bを設ける。排気溝121の排気口125Aを環境気流23の風下側に設けると共に、温度センサ205を設置し、その温度センサ205の測定温度が環境気流23の温度に等しくなるように圧搾気体源201から気体吹き出し孔123A,123Bに供給される圧搾空気の温度を温調機202により調節する。

請求項（抜粋）：

案内面を有する第1部材と、前記案内面に対向する軸受け面を有する第2部材と、前記軸受け面内の気体吹き出し孔より前記案内面に圧搾された気体を吹き出す静圧気体軸受けと、を有し、該静圧気体軸受けを介して前記第1部材と前記第2部材とを相対移動させるステージ装置において、前記軸受け面の前記気体吹き出し孔の周囲に気体を排出するための排気溝を設けたことを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

F16C 32/06 ,  B23Q 1/38 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

F16C 32/06 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G ,  B23Q 1/26 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-073513
  
• 特開平2-212624