特許
J-GLOBAL ID：200903023962539381
基板検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341897
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169823
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】基板移載機による基板移載時に基板のズレを検出でき、而も簡単な構造の基板検出装置を提供する。【構成】基板6を保持するチャックプレート13に基板の端縁部を検出する検出器21,22を設け、基板とチャックプレートとを所定量相対移動させ、基板の端縁部を検出する様構成し、基板とチャックプレートとを所定量相対移動させた場合に、基板の端縁部を検出するかどうかで、基板の位置ズレが所定量以内であるかどうかを判断する。
請求項（抜粋）：
基板を保持するチャックプレートに基板の端縁部を検出する検出器を設け、基板とチャックプレートとを所定量相対移動させ、基板の端縁部を検出する様構成したことを特徴とする基板検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01B 11/00
, H01L 21/027
