特許

J-GLOBAL ID：200903023964944909

光電子集積用バイリシック複合系

発明者： ペーター、ブーフマン ,  デイビッド、ジョン、ウェブ ,  ペーター、フェッティガー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294989
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029513
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 能動光電子素子、受動光導波路素子および機能光導波路素子といった光電子構成部品のハイブリッド集積のための方法を提供する。【構成】 第1の材料でできた第1のチップおよび別の材料でできた第2のチップという2つのチップから成る光電子複合系。例えば、第1のチップは、全部がモノリシックに集積されている、レーザダイオードおよびフォトダイオードなどの複数の能動光電子素子を含む。導波路などの多数の他の光学素子は、第2のチップにモノリシックに集積される。さらに、この第2のチップは、前記第1のチップに集積された素子の大きさの凹部を有する。第2のチップのそれらの素子および導波路は、両チップを一体に閉じ合わせた時に自動的にアラインメントが得られる。

請求項（抜粋）：

1つ以上の能動光電子素子および/または受動光電子素子および/または機能光導波路素子、または、それらのいずれかの組合せが配置される第1のチップおよび第2のチップを有する光電子複合系であって、前記複合系は雄型部分および対応する雌型部分から成るアラインメント手段を有しており、前記チップの一方に配置された各雄型部分は他方のチップの対応する雌型部分を有しており、それによって、前記雄型部分を前記雌型部分に嵌合することにより前記第1のチップと第2のチップとの結合が前記第1のチップ上の素子と前記第2のチップ上の素子とのアラインメントを得るようになっていることを特徴とする光電子複合系。

IPC (4件)：

H01L 27/15 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/42 ,  H01L 27/14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-169167
  
• 特公昭50-037993
  
• 特開昭58-196047
  
• 特開昭56-006479