特許

J-GLOBAL ID：200903023972223048

フリンジスキャン干渉計測の解析式の決定方法及びフリンジスキャン干渉計

発明者： 朱 郁葱
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361897
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173808
出願日： 1997年12月09日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】7バケットを越えるフリンジスキャン干渉計測の解析の際に必要となる解析式を決定するための手法を提供する。【解決手段】同一の光束をビームスプリッタ2によって測定光と参照光とに分割し、測定光を被検面5で反射させた後に両光束を統合して干渉縞を形成し、被検面の各点における干渉縞の強度データgを測定し、干渉縞を形成する際の測定光と参照光との位相差を、基準状態に対してπ/2・j(j=0,±1,±2,....,±n)だけシフトした測定を都合2n+1回行うことにより、干渉縞の強度データg-n,g-n+1,....,g-1,g0,g1,....,gn-1,gnを測定し、被検面によって付与される被検位相θを求める際に用いる解析式中の定数Aj,Bjを決定する方法において、位相差のシフト量π/2・jがjに比例した誤差を持つものとしたときに、被検位相θの誤差が最小となるように定数Aj,Bjを決定する。

請求項（抜粋）：

同一の光束を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検面で反射させ又は被検物体を透過させた後に前記両光束を統合して干渉縞を形成し、前記被検面又は被検物体の各点における前記干渉縞の強度データgを測定し、前記干渉縞を形成する際の前記測定光と参照光との位相差を、基準状態に対してπ/2・j(j=0,±1,±2,....,±n;nは自然数)だけシフトした測定を都合2n+1回行うことにより、前記干渉縞の強度データg-n,g-n+1,....,g-1,g0,g1,....,gn-1,gnを測定し、AjとBjを定数として、なる解析式によって、前記被検面又は被検物体によって付与される被検位相θを求める際に用いる前記定数Aj,Bjを決定する方法において、前記位相差のシフト量π/2・jが前記jに比例した誤差を持つものとしたときに、該シフト量の誤差に起因する前記被検位相θの誤差が最小となるように、前記定数Aj,Bjを決定することを特徴とする、フリンジスキャン干渉計測の解析式の決定方法。