特許

J-GLOBAL ID：200903023979068730

プラズマCVD装置のサセプタに使用されるウエハ保持ピン

発明者： 堀尾 泰臣 ,  小林 賢治 ,  箕浦 誠司
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 広江 武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255226
公開番号（公開出願番号）：特開平5-098449
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】【目的】 使用中又は運搬時の衝撃等よる折損の防止を図ったプラズマCVD装置のサセプタに使用されるウエハ保持ピンを提供する。【構成】 この保持ピン6は、炭素繊維強化炭素材料からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウエハの表面に絶縁膜を形成させるプラズマCVD装置内に設置されるサセプタに使用されるウエハ保持ピンであって、炭素繊維強化炭素材料からなることを特徴とするウエハ保持ピン。

IPC (7件)：

C23C 16/50 ,  C01B 31/04 101 ,  C04B 35/54 ,  C04B 35/56 101 ,  C04B 35/80 ,  C30B 25/12 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-230879
  
• 特開昭53-142183