特許
J-GLOBAL ID：200903023980145102
圧電型圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130813
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341914
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】焦電効果によって発生する電荷をキャンセルし、かつ安定した出力を得る。【構成】圧電素子21は厚み方向に分極を施されており、上下面の中心部分に内側電極22、23、内側電極の周囲に外側電極24、25が設けられている。この圧電素子21の内側電極部分にのみ圧縮応力を加えた時に、内側電極及び外側電極に発生する電荷を検出し、内側電極から外側電極の電荷を差し引くことによって焦電の影響をキャンセルし、かつ正確な圧力を検出する。
請求項（抜粋）：
受圧面を有する筺体と、前記筺体の内部に設けられ一端が前記受圧面の裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設けられかつ前記圧力伝達部材の他端に接し、厚み方向に分極を施され、前記分極方向と直交する両面の中央部分に内側電極を構成し、前記内側電極の周囲に外側電極を構成した板状の圧電素子と、前記圧電素子、前記圧力伝達部材に予備圧力を与えつつ固定する上部固定部材とを備え、前記圧力伝達部材および前記上部固定部材は前記圧電素子の前記内側電極部分に接触し、前記受圧面に加えられた圧力を前記内側電極部分に印加し、前記内側電極に発生する電荷から前記外側電極に発生する電荷を差し引くことによって、圧力を検出することを特徴とする圧電型圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 23/10
, G01L 9/08
, G01L 19/06
