特許

J-GLOBAL ID：200903023983321718

搬送装置およびそれを備えた処理装置

発明者： 草間 義裕 ,  久保田 義昭
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314690
公開番号（公開出願番号）：特開2004-152882
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】フットプリントにおいて有利で、かつ処理装置での基板の交換作業を極めて効率よく行え、スループットで極めて有利な搬送装置を提供する。【解決手段】上・下段フォーク26、27からなる載置部を有する第一搬送機構5と、上・下段フォーク31、32からなる載置部とおよび該上段フォークと該下段フォークの上下方向間隔を制御できる間隔制御部とを有する第二搬送機構6とから成り、第二搬送機構6の上下段フォーク31、32が互いに間隔を拡げた状態で第一搬送機構5の上下段フォーク26、27を挟み込み、上下段フォーク26、27とフォーク31、32とを平面図で互いに噛み合った状態で第二搬送機構6の上段フォーク31が第一搬送機構5の上段フォーク26の間をかつ下段フォーク32が下段フォーク27の間を通り抜けることができるようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

上段フォークと下段フォークからなる2段構成の載置部を有する第一搬送機構と、上段フォークと下段フォークからなる2段構成の載置部とおよび該上段フォークと該下段フォークの上下方向間隔を制御できる間隔制御部とを有する第二搬送機構とから成り、前記第二搬送機構の前記上下段フォークが互いに間隔を拡げた状態で前記第一搬送機構の前記上下段フォークを挟み込み、前記第一搬送機構の前記上下段フォークと第二搬送機構の前記フォークとを平面図で互いに噛み合った状態で前記第二搬送機構の前記上段フォークが前記第一搬送機構の前記上段フォークの間をかつ前記第二搬送機構の前記下段フォークが前記第一搬送機構の前記下段フォークの間を通り抜けることができることを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 D ,  B65G49/07 E

Fターム (15件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031LA08 ,  5F031LA13 ,  5F031LA18