特許

J-GLOBAL ID：200903023984369820

基板搬送用ハンド及びその吸着機構

発明者： 澤田 康宏 ,  太田 二郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-355762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-188681
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】軽量で剛性が高く、かつ経済的な基板搬送用ハンドを提供する。【解決手段】 基台となるベース部材1と、ベース部材1に片持ち状態で固定され、所定距離を隔てて配置された少なくとも2本の梁部材2a,2bとを具備し、梁部材2a,2bは、中空状のパイプから形成され、ベース部材1との締結部が中実構造に構成されている。

請求項（抜粋）：

基台となるベース部材と、該ベース部材に片持ち状態で固定され、所定距離を隔てて配置された少なくとも2本の梁部材とを具備し、前記梁部材は、中空状のパイプから形成され、前記ベース部材との締結部が中実構造に構成されていることを特徴とする基板搬送用ハンド。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/06 N ,  B25J 15/06 E ,  B65G 49/06 A ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 B