特許

J-GLOBAL ID：200903023984423417

走査X線電子顕微鏡

発明者： 山室 哲
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056243
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258369
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、X線の走査により試料から発生した光電子を検出する際、低真空から高真空までの広範囲の真空条件において光電子を検出することが可能な走査X線電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 試料12を載置するステージ14が配置された試料室10に、排気管32や開閉バルブV1等から構成される第1の真空排気系が設けられ、同心半球型電子エネルギー分光器26等が配置された分光器室24に、排気管34や開閉バルブV2等から構成される第2の真空排気系が設けられ、これら試料室10と分光器室24とを連結する筐筒20に、アパーチャー36や排気管38や差動バルブV3等から構成される差動排気系が設けられている。このため、分光器室24内を10-4mmHgの高真空状態にしたまま、試料室10内を1〜10-3mmHgのように広範囲の低真空状態に維持することが可能になる。

請求項（抜粋）：

集光X線の走査を受ける試料を載置するステージが配設されている試料室と、前記試料室に接続して設置され、集光X線の走査を受けて前記試料から発生する光電子を集束する集束レンズ系が配設されている筐筒と、前記筐筒に接続して設置され、前記集束レンズ系により集束された光電子を受けて所定のエネルギーを有する光電子のみを選択する電子エネルギー分光手段及び前記電子エネルギー分光手段により選択された光電子を検出す検出手段が配設されている分光器室と、前記試料室内の真空排気を行う第1の真空排気系と、前記分光器室内の真空排気を行う第2の真空排気系と、前記筐筒内の差動排気を行う差動排気系と、を具備することを特徴とする走査X線電子顕微鏡。

Fターム (8件)：

2G001AA01 ,  2G001CA03 ,  2G001EA02 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001KA01 ,  2G001PA07 ,  2G001SA05