特許
J-GLOBAL ID:200903023985831160

誘電体バリヤ放電ランプ装置,誘電体バリヤ放電ランプ点灯装置および紫外線照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 和泉 順一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-335343
公開番号(公開出願番号):特開2001-155687
出願日: 1999年11月26日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】被照射物に対する照射むらの増大を来すことなく、被照射物へのイオン付着を抑制できる誘電体バリヤ放電ランプ装置、これを用いた誘電体バリヤ放電ランプ点灯装置および紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】紫外線透過性の材料からなる細長い管状の気密容器1、この気密容器内に封装されて気密容器のほぼ中心軸に沿って延在するとともに中心軸方向に配設されている内部電極2、気密容器内に封入されたエキシマ生成ガス及び気密容器の外周に配設された網目状の外部電極を有する誘電体バリヤ放電ランプDBLと;誘電体バリヤ放電ランプを収容する紫外線透過性の材料からなる細長い管状の外囲容器6と;を具備する。
請求項(抜粋):
紫外線透過性の材料からなる細長い管状の気密容器、この気密容器内に封装されて気密容器のほぼ中心軸に沿って延在するとともに中心軸方向に配設されている内部電極、気密容器内に封入されたエキシマ生成ガス及び気密容器の外周に配設された網目状の外部電極を有する誘電体バリヤ放電ランプと;誘電体バリヤ放電ランプを収容する紫外線透過性の材料からなる細長い管状の外囲容器と;を具備していることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ装置。
IPC (3件):
H01J 65/00 ,  F21S 2/00 ,  H05B 41/24
FI (3件):
H01J 65/00 A ,  H05B 41/24 M ,  F21S 1/00 M
Fターム (2件):
3K072AA00 ,  3K072CA16

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