特許

J-GLOBAL ID：200903023993483791

蛍光X線分析装置

発明者： 竹村 モモ子 ,  西山 友紀子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215198
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052775
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 試料で発生した蛍光X線を分析する際に回折線の発生を抑制して精度のよい分析を行う。【構成】 試料ホルダ2にはモータ6が連結された回転軸7が接続されており、モータ6の回転駆動制御は回転駆動制御装置8によって行われる。そして、X線管4から試料ホルダ2に載置されている基板1表面の薄膜3にX線A1 を照射し、回転駆動制御装置8でモータ6の回転駆動を制御して回転軸7に連結されている試料ホルダ2を例えば1/3rpm で回転させることにより、基板1の格子面を回転させて各格子面に入射するX線A1 の入射角θ1 を変化させながら蛍光X線A2 を発生させる。そして、基板1で発生する回折線の強度ピークが蛍光X線A2 の強度ピークから遠く離れた位置で試料ホルダ2の回転を停止し、回折線の影響のない蛍光X線A2 を検出器5で分析する。

請求項（抜粋）：

試料ホルダ上に載置した試料にX線管からX線を照射し、X線の照射によって試料で発生する蛍光X線を検出器で検出して前記試料の分析を行う蛍光X線分析装置において、前記試料に入射するX線の入射角が変化するように前記試料ホルダを回転あるいは傾斜させる試料ホルダ回転・傾斜手段と、前記試料の所定位置に入射するX線の入射角が変化するように前記X線管を回転させるX線管回転手段と、前記試料の所定位置で発生する蛍光X線の前記検出器への取出し角が変化するように前記検出器を回転させる検出器回転手段のうち少なくとも1つ以上の手段を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。