試料検査方法及び走査型顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-125511
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028795
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】被検試料中の蛍光着色物質の褪色(脱色)特性を改善し、更に、とりわけ紫外スペクトル領域で励起可能な被検試料において、同時的多色的検出を可能とする検査方法及び走査型顕微鏡を提供すること。【解決手段】少なくとも2つの光学的励起線を有しかつ少なくとも第一波長の光と第二波長の光とによって光学的に励起可能な被検試料の検査方法は、以下のステップ:第一波長の数倍の波長と第二波長の数倍の波長とを少なくとも有する照明光(15)により被検試料(27)を照射すると共に、該照明光(15)を該被検試料(27)の部分領域で合焦させること;複数の前記部分領域に亘って照明光(15)を順次案内することにより前記被検試料(27)を走査すること;前記被検試料(27)から到来する検出光(29)を検出すること;前記検出光(29)を、振幅が該検出光(29)のパワーないし強度に依存する検出信号へ変換すること;前記検出信号を前記走査された複数の部分領域へ配属すること;前記検出信号をディスプレイに表示することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの光学的励起線を有しかつ少なくとも第一波長の光と第二波長の光とによって光学的に励起可能な被検試料の検査方法において、以下のステップ:第一波長の数倍の波長と第二波長の数倍の波長とを少なくとも有する照明光(15)により被検試料(27)を照射すると共に、該照明光(15)を該被検試料(27)の部分領域で合焦させること;複数の前記部分領域に亘って照明光(15)を順次案内することにより前記被検試料(27)を走査すること;前記被検試料(27)から到来する検出光(29)を検出すること;前記検出光(29)を、振幅が該検出光(29)のパワーないし強度に依存する検出信号へ変換すること;前記検出信号を前記走査された複数の部分領域へ配属すること;前記検出信号をディスプレイに表示することを特徴とする検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/64 , G02B 21/00 , G02B 21/06

FI (4件)：

G01N 21/64 E , G01N 21/64 F , G02B 21/00 , G02B 21/06

Fターム (39件)：

2G043AA01 , 2G043AA03 , 2G043BA16 , 2G043DA02 , 2G043EA01 , 2G043FA02 , 2G043GA01 , 2G043GA02 , 2G043GB01 , 2G043GB19 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA05 , 2G043HA06 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043JA04 , 2G043JA05 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA05 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA02 , 2G043MA16 , 2G043NA02 , 2G043NA05 , 2H052AA08 , 2H052AA09 , 2H052AC12 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC26 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AF06 , 2H052AF21

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