特許
J-GLOBAL ID：200903024015006988
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088499
公開番号（公開出願番号）：特開平5-286526
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ウエハカセットの棚とボートの棚の間を自在に移載するロボット機構を具備した装置の提供。【構成】移動可能なブラケットに支持されたウエハ吸着のできるペンシルを備え、ブラケットとカセットの棚の位置を検知するセンサ37及びこれを駆動する機構32,33を備え、検知センサが検出する信号を入力して、駆動機構の移動を制御することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置にあるステ-ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置から表面処理炉内へまたはその逆に移送されるボ-トと、上記ウエハ吸着可能なペンシルと、このペンシルの一端側をア-ム端部で片持ち支持する移載ロボットを備え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上記ボ-トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記ペンシルは、移動可能なブラケットに一端が片持ち支持された昇降ペンシルであり、上記ア-ム端部には、上記ブラケットと上記棚の位置を検出する検知センサを駆動する駆動機構、および上記駆動機構と上記検知センサとに連絡されている制御装置を収納する枠体を有し、上記制御装置は上記検知センサが検出する検知信号を入力して上記駆動機構の移動を制御することを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (4件)：
B65G 1/137
, B65G 1/06
, H01L 21/22
, H01L 21/68
