静電加速管およびそれを備えるイオン注入装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029392
公開番号（公開出願番号）：特開2003-234081
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】エネルギーコンタミネーションを抑制することができ、しかも荷電粒子の輸送距離を短くすることのできる手段を提供する。【解決手段】この静電加速管20は、荷電粒子の一種であるイオン4の進行方向に配列された第1ないし第5の電極21〜25を有している。そして、第2の電極22を、イオン4の経路を挟んで相対向していて互いに異なる電位V2a、V2bが与えられてイオン4を偏向させる二つの電極体22a、22bに分けて構成している。かつ、電極22よりも下流側の電極23〜25を、電極22による偏向後の特定エネルギーを有するイオン4aの軌道に沿って配置している。

請求項（抜粋）：

荷電粒子の進行方向に配列された複数の電極を有していて荷電粒子を加速または減速する静電加速管において、前記複数の電極の内の少なくとも一つの電極を、荷電粒子の経路を挟んで相対向していて互いに異なる電位が与えられて荷電粒子を偏向させる二つの電極体に分けて構成していることを特徴とする静電加速管。

Fターム (2件)：

5C034CC01 , 5C034CD02

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-207237
特開昭63-119199

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