特許
J-GLOBAL ID：200903024017262833
パルスレーザの発光タイミング制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088845
公開番号（公開出願番号）：特開平11-289119
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】パルス発振同期信号が受信されてから実際にレーザが発光されるまでの各パルスの発光遅延時間を常に一定になるようにして、レーザの発光タイミングと半導体露光装置側での制御タイミングとの同期精度を向上させる。【解決手段】スイッチグ手段SWがオンされてからレーザ発振が開始されるまでの実発光遅延時間の変動範囲の最大値以上である所定の基準遅延時間が予め設定される基準遅延時間設定手段21と、前記設定された基準遅延時間と前記制御手段5から出力される電圧指令値に対応する当該パルス発振の前記実発光遅延時間との差を各パルス発振毎に求める遅延時間演算手段22と、前記半導体露光装置10から受信されるパルス発振同期信号TRを前記遅延時間演算手段22で演算された差時間τ分だけ遅延して前記スイッチング手段に出力する遅延手段23とを備えるようにしている。
請求項（抜粋）：
充電電源に対し直列に接続された複数の磁気スイッチとそれぞれが前記充電電源に対し並列に接続された複数のコンデンサとによって複数段の電荷転送回路を構成し、この複数段の電荷転送回路によって電流パルスを複数段に圧縮する磁気パルス圧縮回路と、この磁気パルス圧縮回路に前記充電電源を断続するスイッチング動作を行うスイッチング手段と、前記磁気パルス圧縮回路の出力端に接続されたレーザ放電電極と、前記充電電源に対する電圧指令値を出力する制御手段と、を有し、半導体露光装置側より受信した所定の繰り返し周波数を有するパルス発振同期信号をトリガとして前記スイッチング手段をオンすることにより、所定の繰り返し周波数のパルスレーザ発振を実行するパルスレーザにおいて、前記スイッチグ手段がオンされてからレーザ発振が開始されるまでの実発光遅延時間の変動範囲の最大値以上である所定の基準遅延時間が予め設定される基準遅延時間設定手段と、前記設定された基準遅延時間と前記制御手段から出力される電圧指令値に対応する当該パルス発振の前記実発光遅延時間との差を各パルス発振毎に求める遅延時間演算手段と、前記半導体露光装置から受信されるパルス発振同期信号を前記遅延時間演算手段で演算された差時間分だけ遅延して前記スイッチング手段に出力する遅延手段と、を備えるようにしたパルスレーザの発光タイミング制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 A
, H01S 3/223 E
