特許

J-GLOBAL ID：200903024042411754

耐熱性樹脂前駆体組成物の熱処理方法

発明者： 吉村 利夫 ,  弓場 智之
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-261643
公開番号（公開出願番号）：特開2001-081191
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体のパターン寸法の面内均一性を向上させる。【解決手段】基板上に形成した耐熱性樹脂前駆体組成物組成物を、異なる4枚以上のホットプレートで加熱処理することを特徴とする耐熱性樹脂前駆体組成物の熱処理方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成した耐熱性樹脂前駆体組成物溶液を、異なる4枚以上のホットプレートで加熱処理することを特徴とする耐熱性樹脂前駆体組成物の熱処理方法。

IPC (3件)：

C08G 73/06 ,  B05D 3/02 ,  B05D 7/24 302

FI (3件)：

C08G 73/06 ,  B05D 3/02 Z ,  B05D 7/24 302 X

Fターム (90件)：

4D075BB21Z ,  4D075CA18 ,  4D075DC22 ,  4D075EB39 ,  4D075EB47 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PC135 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB25 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB34 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043RA57 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA52 ,  4J043SA53 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA63 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043SB03 ,  4J043TA02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA13 ,  4J043TA14 ,  4J043TA26 ,  4J043TA31 ,  4J043TA32 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043TB03 ,  4J043UA032 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA381 ,  4J043UA632 ,  4J043UA652 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UA762 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB141 ,  4J043UB152 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043YB19 ,  4J043YB29 ,  4J043YB31 ,  4J043YB32 ,  4J043ZB22