特許

J-GLOBAL ID：200903024043804318

電子ビーム励起式プラズマ装置

発明者： 荒木 陽一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130720
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 異物による反応室内の汚染防止が図れ、また熱衝撃によるランタン化合物の欠損を防止でき、さらに比較的低温域で多量の電子を放出させることができるる電子ビーム励起式プラズマ装置を提供する。【構成】 初期放電用の第1補助電極と、有孔のアノードと、このアノードと第1補助電極との間に設けられ、第1補助電極との間に初期放電を生じさせ、さらにアノードとの間にプラズマ生成用の放電を生じさせる有孔のカソードと、カソードとアノードとの間に設けられ、カソード及びアノードの間での放電プラズマの生成を補助する有孔の第2の補助電極と、カソードおよびアノードの間の領域に放電プラズマ生成用ガスを供給する手段と、カソードの近傍にカスプ磁界が形成されるように放電プラズマ生成領域に磁場を印加する手段と、を有する。

請求項（抜粋）：

放電プラズマから電子ビームを引き出し、これを加速し、加速された電子ビームにより反応ガスをプラズマ化し、このプラズマを基板に作用させる電子ビーム励起式プラズマ装置において、初期放電用の第1の補助電極と、有孔のアノード電極と、このアノード電極と前記第1の補助電極との間に設けられ、前記第1の補助電極との間に初期放電を生じさせ、さらに前記アノード電極との間にプラズマ生成用の放電を生じさせる有孔のカソード電極と、前記カソード電極と前記アノード電極との間に設けられ、前記カソード電極および前記アノード電極の間での放電プラズマの生成を補助する有孔の第2の補助電極と、前記カソード電極および前記アノード電極の間の領域に放電プラズマ生成用ガスを供給するガス供給手段と、前記カソード電極の近傍にカスプ磁界が形成されるように前記放電プラズマ生成領域に磁場を印加する磁場形成手段と、を有することを特徴とする電子ビーム励起式プラズマ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/302 Z