特許

J-GLOBAL ID：200903024060377857

ガス置換装置

発明者： 松本 晃一 ,  福本 隼明 ,  田中 博司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182445
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026790
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、パーティクルの状態を保ったまま大気を不活性ガスに置換し、かつ大気のサンプリング吸引量を増加し、またサンプリングを行いながら置換を行うことにより、大気を不活性ガスに迅速に置換することを目的とするものである。【構成】 截頭円錐状の容器11内に、大気の渦巻き状の流れを生じさせ、大気に含まれるパーティクルを容器11の小径側端部に集めて負圧の不活性ガス分室15に導き、不活性ガス分室15内のパーティクルを不活性ガスとともに排出させるようにした。

請求項（抜粋）：

内部が截頭円錐状の容器と、この容器の大径側端部に底面の接線方向に向けて設けられ、パーティクルを含む第1のガスを前記容器内に導入し、渦巻き状の流れを生じさせるための第1の導入部と、前記容器の大径側端部の底面に設けられ、前記第1のガスを前記容器外へ排出するための第1の排出部と、前記容器の小径側端部に設けられ、前記容器内に対して負圧にされる分室と、この分室に第2のガスを導入する第2の導入部と、前記分室から前記パーティクルとともに前記第2のガスを排出するための第2の排出部とを備えていることを特徴とするガス置換装置。